半導體聯盟消息,國外媒體9月28日報道,而消息人士透露,臺積電正在加快研發極紫外光刻工藝,他們預計到明年年底,極紫外光刻機的累計采購量將達到約55臺。

在8月份的全球技術論壇期間,臺積電曾透露全球目前在運行的極紫外光刻機中,他們約有一半,產能則是預計占全球的60%。

國外媒體:臺積電對極紫外光刻機的累計采購量將達到約55臺

臺積電是從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機的,7nm之后的工藝,就將全部采用極紫外光刻機,隨著5nm工藝的大規模投產,6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開始籌備量產,他們對極紫外光刻機的需求也越來越大。

阿斯麥是目前全球唯一能制造極紫外光刻機的廠商,臺積電所需要的極紫外光刻機,也就全部來自于阿斯麥。

國外媒體:臺積電對極紫外光刻機的累計采購量將達到約55臺

阿斯麥極紫外光刻機

目前還不清楚臺積電已經向阿斯麥采購了多少臺極紫外光刻機,但從阿斯麥的年報來看,他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機,到今年二季度結束時,他們已累計向用戶交付76臺極紫外光刻機,按50%的比例計算,臺積電目前擁有的極紫外光刻機,就是在38臺左右。